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青岛森泉光电有限公司
主营：激光器,光学平台,高光谱相机 - 18560499169
青岛森泉光电有限公司
主营：激光器,光学平台,高光谱相机
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TMC SEM-Base VI主动压电消振
SEM-Base® VI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有geng好的隔振性能、geng快、geng强大的控制器和高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。
硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容，可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。
主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。
采用压电技术的串行设计 - *特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的**惯性主动振动消除性能。
| 主动自由度 | 6 |
| 主动带宽 | 0.6 Hz - 100 Hz |
| 被动固有频率 | 标称值为12 Hz |
| 有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
| 2 Hz时的隔振 | 90% |
| ≥3 Hz时的隔振 | 90 - 98% |
| 内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 工作负载范围 | 标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克） 高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克） |
| 磁场发射 4英寸（102毫米）处 距离平台 | <0.02 μG broadband RMSd> |
| 环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
| 主动隔振元件 | 较小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
| 被动隔振元件 | 单个硬弹性体（*压缩空气源） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器，用于 测量隔振器下方的地面振动，并 提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧 下方测量、处理和 支撑隔离面 |
| 尺寸（宽 x 深） | 35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米 |
| 高度 | 标称6.3英寸（160毫米）， SEM-Base关闭时不会改变 |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
| 系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE标准 |
| 地面位移 | <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
| 处理器 | 150/75 MHz双核 |
| 采样率 | 10 kHz |
| 模拟输出 | 16个通道 |
| 模拟输入 | 16个通道 |
| 状态灯 | 单个LED |
| 前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
| 用户界面 | 前面板液晶显示屏 **级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |